【招标公告】划片机采购公告
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基本信息
| 地区 | 贵州 贵阳市 | 采购单位 | 中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂) |
| 招标代理机构 | 项目名称 | 划片机询比采购公告 | |
| 采购联系人 | *** | 采购电话 | *** |
划片机采购公告
划片机询比采购公告
中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂)(以下简称振华永光)已具备采购条件,现公开邀请供应商参加询比采购活动。
1 采购项目简介
1.1采购项目名称:划片机;
1.2采购项目地点:贵州省贵阳市;
1.3采购人:中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂);
1.4采购项目资金落实情况:自筹;
1.5采购项目及内容:划片机;具体内容详见采购文件;
1.6成交供应商数量及成交份额:一家
2 采购范围及相关要求
2.1 采购范围:划片机(采购包括但不限于划片机及其相关的技术服务、技术培训、技术资料等);
2.2采购数量:2台;
2.3交货期:合同签订后60天;
2.3交货地点:中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂)园区内
2.4货物主要技术要求:
2.4.1 设备用途:该划片机主要用于半导体晶圆的划片切割。
2.4.2设备指标:
*2.4.2.1可切割晶圆尺寸:4寸、6寸、8寸以及角片;
*2.4.2.2可切割材料:主要是二三极管、MOS器件、电路、抗辐照芯片等硅基芯片,正面材料至少包括玻璃、铝层,背面金属层包含钛、镍、银、镍金合金;
*2.4.2.3主轴配置:单轴;
2.4.2.4主轴空载转速范围:6000-60000rpm;
2.4.2.5主轴额定输出功率:1.8KW;
2.4.2.6主轴带刀盘振动值:振动软刀≤0.3mm/s,硬刀≤0.2mm/s;
2.4.2.7主轴径向跳动<1μm;
2.4.2.8上下料方式:手动上下料;
2.4.2.9 可切割范围:≥250mm×100mm;
2.4.2.10 可切割晶圆厚度须满足:0.15mm~3mm;
2.4.2.11X轴最小步进:≤0.001mm;
2.4.2.12Y轴最小步进:≤0.001mm;
*2.4.2.13设备功能:至少具备自动对焦、非接触测高、破刀侦测、自动磨刀等功能。
2.4.3工艺要求:
*2.4.3.1划片后芯片正面无破损(崩边、划痕侵占芯片有源区等损伤芯片的现象)、沾污、划伤、氧化等现象;
*2.4.3.2划片时芯片无飞晶;
*2.4.3.3划片后芯片背面崩边符合以下要求;
(1)背面崩边尺寸≤5μm;
(2)背面崩边比例≤0.5%;
(3)背面芯片边缘无贯穿性裂纹;
2.4.3.4划片后芯片侧面无裂纹;
备注:切割样品,采用UV膜和角片(型号MXXV,尺寸20cm*40cm或40cm*40cm),转速分别设置在18K/25K/30K进行验证。
2.4.4其他要求:
*2.4.4.1设备配置的操作系统或工业软件,不得在系统或软件中设置定时自动锁定功能;工业软件需终身授权且可以免费升级,需提供工业软件电子版备份;
2.4.4.2设备配置的操作系统或工业软件,需支持通过级别权限登录系统或软件,参数设置或参数调用可分权限操作;
2.4.4.3提供数据接口及通信协议,标配必要的硬件,支持上传数据到MES系统;
*2.4.4.4提供设备技术方案,在技术方案中需列出关键部件的详细清单,含品牌及规格型号(关键部件至少包括:主轴和法兰、电机和驱动器、导轨和丝杆、Y轴光栅尺等);
2.4.4.5资料交付:需提供设备使用说明书、维修手册等资料。国产设备资料至少需提供一份纸质档及一份电子档,进口设备资料如果是英文版,则至少还需提供一份中文版电子档;
2.4.4.6主轴需提供原厂出具的检测报告(含跳动、振动实测数据);
2.4.4.7每台设备需配置刀具法兰两套;
2.4.4.8每台设备需配置高低倍显微镜,低倍0.8X, 高倍≥4X。
详见采购文件。
3 供应商资格要求
3.1供应商应依法设立且满足如下条件:
3.1.1资质要求:提供营业执照、组织机构代码证、税务登记证副本复印件或三证合一的营业执照复印件,事业单位提供事业单位法人证书,团体组织提供对应法人证书。法定代表人为同一个人的两个或两个以上法人、母公司、全资子公司及其控股公司,不得同时参与同一个项目采购。
3.1.2本次采购接受代理商响应,供应商如为代理商,应提供制造商开具的授权书。
3.1.3提供《供应商良好商业信誉承诺书》、未被“信用中国”(www.creditchina.gov.cn)列入失信被执行人和重大税收违法失信主体、未被“中国政府采购网”(www.ccgp.gov.cn)列入政府采购严重违法失信行为记录名单,供应商公司及现任法人和主要负责人在参加采购活动前,未被纳入法院、工商行政管理部门、税务部门、银行认定的失信被执行人、重大税收违法案件当事人、采购严重违法失信行为记录名单;供应商不处于被责令停产停业、暂扣或者吊销执照、暂扣或者吊销许可证、吊销资质证书状态;供应商未进入清算程序,或被宣告破产、或其他丧失履约能力的情形不存在在前三年采购合同履约过程中及其他经营活动履约过程中未依法履约的情况。
3.1.4提供企业当年或上一年度的财务报表,包含资产负债表、现金流量表、利润表或损益表;供应商如为上市公司或国有企业的需提供上一年度财务报表审计报告;新成立不足 1 年或 1 个财务年度的可提供加盖公章的验资报告或营业执照副本复印件或资产负债表;非盈利性单位或其他机关事业单位以符合财务会计制度为准。供应商为自然人的须出具银行机构开具的资信证明。
3.1.5提供《知识产权声明函》(参见响应文件模板),并对承诺声明内容事项真实性负责。
3.2供应商不得存在下列情形之一:
3.2.1处于被责令停产停业、暂扣或者吊销执照、暂扣或者吊销许可证、吊销资质证书状态;
3.2.2进入清算程序,或被宣告破产、或其他丧失履约能力的情形;
3.2.3被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人、采购严重违法失信行为记录名单;
3.2.4与其他响应人存在关联关系。
3.3 本次采购不接受联合体。
4 采购文件的获取
请于 2026 年 7 月 30 日 16 时前(北京时间),登录CEC智慧E采平台(https://www.ec-cec.com)针对本项目进行报名,报名成功后下载采购文件。
5 响应文件递交
5.1响应文件递交的截止时间(报价截止时间)见采购文件规定;供应商应通过CEC智慧E采平台,进行报价及递交电子版响应文件。同时将纸质版响应文件(装订成册)正本 1 份,副本 2 份在限期内寄送至采购人收件人处,响应文件须法定代表人或授权代表签署。
5.2逾期送达的的响应文件,采购人接收人将拒绝接收。
6 发布公告的媒介
本询比采购公告在CEC智慧E采平台(https://www.ec-cec.com)上发布。
7 平台使用操作问题
请拨打平台客服电话:0755-83261765。
8 联系方式
采购人:中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂)
地 址:贵阳市乌当区新添大道北段270号
联系人: *** 电 话: ***
中国振华集团永光电子有限公司
(国营第八七三厂)
2026年7月27日
划片机询比采购公告
中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂)(以下简称振华永光)已具备采购条件,现公开邀请供应商参加询比采购活动。
1 采购项目简介
1.1采购项目名称:划片机;
1.2采购项目地点:贵州省贵阳市;
1.3采购人:中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂);
1.4采购项目资金落实情况:自筹;
1.5采购项目及内容:划片机;具体内容详见采购文件;
1.6成交供应商数量及成交份额:一家
2 采购范围及相关要求
2.1 采购范围:划片机(采购包括但不限于划片机及其相关的技术服务、技术培训、技术资料等);
2.2采购数量:2台;
2.3交货期:合同签订后60天;
2.3交货地点:中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂)园区内
2.4货物主要技术要求:
2.4.1 设备用途:该划片机主要用于半导体晶圆的划片切割。
2.4.2设备指标:
*2.4.2.1可切割晶圆尺寸:4寸、6寸、8寸以及角片;
*2.4.2.2可切割材料:主要是二三极管、MOS器件、电路、抗辐照芯片等硅基芯片,正面材料至少包括玻璃、铝层,背面金属层包含钛、镍、银、镍金合金;
*2.4.2.3主轴配置:单轴;
2.4.2.4主轴空载转速范围:6000-60000rpm;
2.4.2.5主轴额定输出功率:1.8KW;
2.4.2.6主轴带刀盘振动值:振动软刀≤0.3mm/s,硬刀≤0.2mm/s;
2.4.2.7主轴径向跳动<1μm;
2.4.2.8上下料方式:手动上下料;
2.4.2.9 可切割范围:≥250mm×100mm;
2.4.2.10 可切割晶圆厚度须满足:0.15mm~3mm;
2.4.2.11X轴最小步进:≤0.001mm;
2.4.2.12Y轴最小步进:≤0.001mm;
*2.4.2.13设备功能:至少具备自动对焦、非接触测高、破刀侦测、自动磨刀等功能。
2.4.3工艺要求:
*2.4.3.1划片后芯片正面无破损(崩边、划痕侵占芯片有源区等损伤芯片的现象)、沾污、划伤、氧化等现象;
*2.4.3.2划片时芯片无飞晶;
*2.4.3.3划片后芯片背面崩边符合以下要求;
(1)背面崩边尺寸≤5μm;
(2)背面崩边比例≤0.5%;
(3)背面芯片边缘无贯穿性裂纹;
2.4.3.4划片后芯片侧面无裂纹;
备注:切割样品,采用UV膜和角片(型号MXXV,尺寸20cm*40cm或40cm*40cm),转速分别设置在18K/25K/30K进行验证。
2.4.4其他要求:
*2.4.4.1设备配置的操作系统或工业软件,不得在系统或软件中设置定时自动锁定功能;工业软件需终身授权且可以免费升级,需提供工业软件电子版备份;
2.4.4.2设备配置的操作系统或工业软件,需支持通过级别权限登录系统或软件,参数设置或参数调用可分权限操作;
2.4.4.3提供数据接口及通信协议,标配必要的硬件,支持上传数据到MES系统;
*2.4.4.4提供设备技术方案,在技术方案中需列出关键部件的详细清单,含品牌及规格型号(关键部件至少包括:主轴和法兰、电机和驱动器、导轨和丝杆、Y轴光栅尺等);
2.4.4.5资料交付:需提供设备使用说明书、维修手册等资料。国产设备资料至少需提供一份纸质档及一份电子档,进口设备资料如果是英文版,则至少还需提供一份中文版电子档;
2.4.4.6主轴需提供原厂出具的检测报告(含跳动、振动实测数据);
2.4.4.7每台设备需配置刀具法兰两套;
2.4.4.8每台设备需配置高低倍显微镜,低倍0.8X, 高倍≥4X。
详见采购文件。
3 供应商资格要求
3.1供应商应依法设立且满足如下条件:
3.1.1资质要求:提供营业执照、组织机构代码证、税务登记证副本复印件或三证合一的营业执照复印件,事业单位提供事业单位法人证书,团体组织提供对应法人证书。法定代表人为同一个人的两个或两个以上法人、母公司、全资子公司及其控股公司,不得同时参与同一个项目采购。
3.1.2本次采购接受代理商响应,供应商如为代理商,应提供制造商开具的授权书。
3.1.3提供《供应商良好商业信誉承诺书》、未被“信用中国”(www.creditchina.gov.cn)列入失信被执行人和重大税收违法失信主体、未被“中国政府采购网”(www.ccgp.gov.cn)列入政府采购严重违法失信行为记录名单,供应商公司及现任法人和主要负责人在参加采购活动前,未被纳入法院、工商行政管理部门、税务部门、银行认定的失信被执行人、重大税收违法案件当事人、采购严重违法失信行为记录名单;供应商不处于被责令停产停业、暂扣或者吊销执照、暂扣或者吊销许可证、吊销资质证书状态;供应商未进入清算程序,或被宣告破产、或其他丧失履约能力的情形不存在在前三年采购合同履约过程中及其他经营活动履约过程中未依法履约的情况。
3.1.4提供企业当年或上一年度的财务报表,包含资产负债表、现金流量表、利润表或损益表;供应商如为上市公司或国有企业的需提供上一年度财务报表审计报告;新成立不足 1 年或 1 个财务年度的可提供加盖公章的验资报告或营业执照副本复印件或资产负债表;非盈利性单位或其他机关事业单位以符合财务会计制度为准。供应商为自然人的须出具银行机构开具的资信证明。
3.1.5提供《知识产权声明函》(参见响应文件模板),并对承诺声明内容事项真实性负责。
3.2供应商不得存在下列情形之一:
3.2.1处于被责令停产停业、暂扣或者吊销执照、暂扣或者吊销许可证、吊销资质证书状态;
3.2.2进入清算程序,或被宣告破产、或其他丧失履约能力的情形;
3.2.3被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人、采购严重违法失信行为记录名单;
3.2.4与其他响应人存在关联关系。
3.3 本次采购不接受联合体。
4 采购文件的获取
请于 2026 年 7 月 30 日 16 时前(北京时间),登录CEC智慧E采平台(https://www.ec-cec.com)针对本项目进行报名,报名成功后下载采购文件。
5 响应文件递交
5.1响应文件递交的截止时间(报价截止时间)见采购文件规定;供应商应通过CEC智慧E采平台,进行报价及递交电子版响应文件。同时将纸质版响应文件(装订成册)正本 1 份,副本 2 份在限期内寄送至采购人收件人处,响应文件须法定代表人或授权代表签署。
5.2逾期送达的的响应文件,采购人接收人将拒绝接收。
6 发布公告的媒介
本询比采购公告在CEC智慧E采平台(https://www.ec-cec.com)上发布。
7 平台使用操作问题
请拨打平台客服电话:0755-83261765。
8 联系方式
采购人:中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂)
地 址:贵阳市乌当区新添大道北段270号
联系人: *** 电 话: ***
中国振华集团永光电子有限公司
(国营第八七三厂)
2026年7月27日
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